10幾萬零件 組裝要1年!不懼美施壓 荷蘭ASML光刻機半數銷陸

ASML近期在荷蘭展示新一代EUV光刻機,重達150噸,一台售價3.5億歐元(約台幣124億元)。圖/取自網易
ASML近期在荷蘭展示新一代EUV光刻機,重達150噸,一台售價3.5億歐元(約台幣124億元)。圖/取自網易

全球光刻機巨頭ASML(艾司摩爾)又爆單!今年前兩季中國成為ASML最大客戶。面對美國圍堵,ASML何以敢繼續和北京做生意,答案就在他進入中國市場的36年裡。據報導,繼第一季後,今年第二季ASML的中國區市場收入達23億歐元(合約24.8億美元),再次以49%佔比成為其第一大收入來源。

今年4月,成立40周年的ASML迎來新一任行政總裁、50歲的法國人富凱(Christophe Fouquet)。《華商韜略》報導說,2008年加入公司的富凱曾帶領團隊研發極紫外微影製程(EUV)項目,使ASML成為全球唯一EUV設備製造商。富凱接替從2013年起任CEO的溫彼得(Peter Wennink),在後者帶領下,ASML躍升為歐洲市值最高企業。交棒時,溫彼得不忘叮囑一句,「不賣給中國EUV是政府們的選擇,不是ASML的選擇。」

ASML上月發佈第二季財報顯示,中國區市場收入約23億歐元,繼首季後再以49%占比成為其第一大收入來源。此外,傳統大客戶韓國和台灣列二、三位,占比分別是28%和11%,較第一季有所提升,美國和日本同為3%,比第一季下降。

一邊是中國市場的重要性,一邊來自美國的壓力,這讓ASML行政總裁位子很難做,但無論富凱還是溫彼得,都在努力尋求平衡和突破。富凱的同事說,他更樂於解決技術難題而非政治問題,富凱自己表示,「我們的作用不是搞政治,也不是決定什麼是對的,什麼是錯的。」

在美國限制對華出口上,富凱和溫彼得態度很一致,他公開表示,阻止別人生產你需要的東西是不理智的,西方汽車和消費電子類產品急需中國產晶片。

近兩年,受半導體下行影響,ASML全球訂單量一直往下跌,但即使受限,來自中國的市場訂單一直在增長。ASML首席財務官達森(RogerDassen)說,「中國的需求很強勁,因他們也在增加產能。」今年2月底當多數人還沉浸在春節氛圍時,位在北京大興經濟技術開發區、中國最大、世界第五大的半導體代工廠「中芯國際」已熱火朝天開工了。

在中芯國際北京一、二廠大門前停滿快遞三輪車,臨近午飯時,員工聚在一起出門用餐,這兩座工廠具備每月生產16萬片24奈米以上12英寸晶片能力。按計劃,中芯制定了7奈米晶片的生產目標,並決定建設北京三廠。

中芯國際因取不到較先進的光刻機,因此晶圓製程轉向更成熟的項目,且因產量更多從而成為產能僅次台積電的全球第二大廠。圖/取自新浪網

中芯國際因取不到較先進的光刻機,因此晶圓製程轉向更成熟的項目,且因產量更多從而成為產能僅次台積電的全球第二大廠。圖/取自新浪網

2018年,中芯與ASML簽訂購買11台極紫外光刻機合約,但2020年12月美國將中芯國際等59家陸企列入管制清單,阻止ASML向其出售極紫外光刻機。

不過,中芯的擴產計畫沒停下,無法獲得最先進光刻機繼續追趕先進制程後,公司轉向成熟制程的加大投入,以數量拼制程,積累技術、佔據市場、等待時機。今年首季,中芯國際出貨170萬片晶圓,實現125.94億元人民幣的歷史同期次高營收,同比增長19.7%,在當期僅次台積電,攀升到全球第二大純晶圓代工廠位置;大陸另一大晶圓代工企業「華虹半導體」在首季取得4.6億美元營收,也超過預期。

中國晶片代工企業的產能擴大自然帶起設備支出。財報顯示,中芯第一季資本支出達159億元人民幣,這也是ASML中國市場爆單的原因。ASML預計,今年下半年業績表現將更強勁,半導體行業將在2025年進入上行週期。但隨著白宮新主人的到來,中美晶片角力也許會更加激烈。

作為ASML的新任行政總裁,富凱說,「不要指望我把桌子掀翻,ASML仍會以ASML的方式經營。半導體供應鏈的脫鉤極昂貴和困難,大家遲早會認識,在半導體領域取得成功的唯一途徑,只有合作。」

ASML中國區總裁沈波表示,很多人不知道,ASML深耕中國市場已30多年。1986年,清華微電子所的新大樓建成,幾位主要領導討論後,決定放棄原來的所有科研課題,集中力量搞超大型積體電路研究。引進設備過程中,當時才成立兩年的ASML,進入了微電子所的視線。自1988年ASML向清華大學交付第一台光刻機算起,至2023年底,ASML在中國裝機量已接近1400台。2000年,ASML就在天津設分公司,目前已在大陸16個城市設辦事處,有12個倉儲物流中心,1個全球培訓中心,3個開發中心及1個本地零件供應中心。

早在1988年ASML與北京清華大學合作交付第一台光刻機起,至今雙方已合作了30多年。圖/取自華商韜略

早在1988年ASML與北京清華大學合作交付第一台光刻機起,至今雙方已合作了30多年。圖/取自華商韜略

ASML在中國除了賣光刻機,還與許多大學及企業在產研學等領域開展合作。2002年,ASML與清華大學微電子學研究所簽協定,在新型半導體材料、微機械製造,及光刻機工藝和設備方面的高級工程技術人員培訓等領域內合作。

在這次合作中,ASML向清華大學贈送了兩台「步進式光刻機」(Step-and-Repeat Photolithography),清華從ASML引進一台價值200萬歐元的先進光刻機,項目總經費700多萬歐元,部分資金由荷蘭政府補助。

ASML為什麼要與中國合作?前任CEO溫彼得分享過自己觀點,但這段4年前的談話被外界簡化並誤傳成一個讓人血脈噴張的標題:「中國永遠複製不出高端光刻機」;其實,溫彼得真正意思是,世界上沒有一個國家,包括荷蘭,可單靠自己製造出先進的光刻機。

溫彼得說,ASML是系統集成商,將數百家企業的技術整合在一起,才有了一台別人無法複製的光刻機。以一台5nm光刻機為例,需要十幾萬個零件,機器重達180噸,光是組裝就需要一年,而這些零件都是世界合作的產物。比如鏡頭來自德國的蔡司,機電設備來自美國的Sparton,准分子鐳射源來自日本的Gigaphoton,電子束檢測設備來自台灣的漢微科。

製造光刻機需要全人類智慧,這也是ASML持續開放科研合作的原因。目前,ASML在全球有4.2萬名員工,其中一大半員工來自境外。這過程ASML一直對中國半導體人才培養格外關注,時任中國區總經理施大維就曾說,中國半導體市場增長很快,但相關人才太少。2007年ASML全球營收的70%來自亞洲,中國銷售達歷史新高後,它還啟動自己的人才計畫。

當年10月,ASML宣佈在中國六所科技大學設獎學金,六所大學是大連理工、哈爾濱理工、東北工業大學、上海交通大學、武漢大學和浙江大學,學科包括微電子和電子機械工程、光學、應用物理以及機械製造和自動化。10多年過去,ASML人才培養計畫取得成效,目前中國區員工已有1700餘人,且還在增長。而現任ASML全球副總裁、中國區總裁沈波,就是畢業於當初合作的六所學校之一:武漢大學。

沈波在2018年加入ASML,去年他帶隊回母校交流,遇到武大工業科學研究院的桂成群教授。畢業於清華大學的桂成群,當ASML第一台光刻機進清華時,他正好在清華當助教,此後於1999年加入ASML,歷任高級系統工程師和戰略事業部專案經理等職。

現任ASML全球副總裁、中國區總裁沈波,也是拜早年ASML與6所大學合作才進入ASML。圖/取自搜狐

現任ASML全球副總裁、中國區總裁沈波,也是拜早年ASML與6所大學合作才進入ASML。圖/取自搜狐

《華商韜略》說,交流會上桂成群表示,發展光刻機最難的不是技術,解決它們只是時間問題,最難的是讓別人理解這行業的發展特徵。「其中重點,還是要與世界開放合作,擁抱和集成全世界的先進技術。」

由於身懷光刻機這把製造尖端半導體的「利刃」,ASML的中國業務不斷受到來自美國的阻撓。2018年起,白宮開始以國安利益為由,對荷蘭政府展開密集遊說,使其禁止ASML向中國出口最先進光刻機。之後,美國還想更進一步,將出口管制延伸至更成熟的技術。

2022年,美商業部產業與安全局(BIS)發佈更嚴厲半導體製造對華出口管制新規,並努力說服荷蘭不再向中國出口ASML第二先進的浸潤式光刻機。

為在最大程度上遏制中國先進半導體的發展,白宮還直接向日本、荷蘭提出要求,希望其配合對華的半導體管制。在美荷日三方談判中,日本態度不堅決,因為半導體設備出口的5成都面向中國,Tokyo Electron、東京精密等頭部日企在華營收占比都接近4成,同時荷蘭立場也不明朗。

如此一來,夾在中間的ASML就被美方視為突破口,「只要ASML點頭,遊說日本就迎刃而解了。」今年4月,面對白宮「停止為中國設備提供售後服務」的施壓,當時還在任的CEO溫彼得回應,「沒理由不為已出售中國客戶的設備提供服務,他們的訂單很多,約占積壓訂單的20%。」

卸任後,溫彼得發言更大膽了,他在7月接受電台訪談說,「美國限制對華晶片出口是基於意識形態,而非事實或資料」,並表示會盡可能展開遊說,防止出現嚴厲的對華出口限制。

台積電第一大市場是北美,銷售占比65%,蘋果是其最大客戶,輝達的第一大客戶微軟貢獻其五分之一的年營收。國際半導體產業協會(SEMI)預估,中國的晶片製造商將保持兩位數產能增長,是世界其他國家的兩倍多,到2025年將達每月1010萬片,約占行業總產能的三分之一。

就像富凱所說,半導體供應鏈的脫鉤極其昂貴和困難,而中國又給了他們一個無法拒絕的理由。

儘管如此,據今年初一項報導,礙於美國壓力,ASML公司兼發言人的達森說,根據荷蘭和美國達成的「出口限制協議」,ASML預計在今年內,不再向中國發行NXT:2000i及以上浸潤式設備出口許可證,也就是說,7nm及以上先進光刻機不再對中國出售。

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