三名知情人士表示，隨著當局推動建立半導體供應鏈自主化，中國目前要求晶片製造商在增加新產能時，必須使用至少50%的國產設備。這項規定並未公開成文，但近幾個月來，晶片製造商在申請國家批准興建或擴建工廠時，已被主管機關要求透過採購標案證明國產設備佔比達標，否則申請多半遭駁回。
路透報導，這是北京為降低對外國技術依賴所推出的最重要措施之一。自美國於2023年收緊技術出口限制、禁止向中國銷售先進人工智慧（AI）晶片與半導體設備後，中國加快相關政策步伐。
雖然美國出口管制阻斷部分最先進設備的供應，但這項「50%門檻」的規則正促使中國製造商即使在美、日、韓、歐洲設備仍可供選擇的領域中，仍優先選擇本土供應商。
知情人士表示，未達門檻的申請通常會遭駁回，但主管單位會依供應限制情況給予一定彈性。對於國產設備尚未完全到位的先進製程產線，相關要求也會放寬。其中一名消息人士指出，主管機關偏好比例遠高於50%，長期目標是讓晶圓廠全面使用國產設備。
中國工業主管部門未回應置評請求。由於這項措施尚未對外公布，消息人士要求匿名。
中國國家主席習近平多次呼籲以「舉國體制」打造完全自給自足的本土半導體供應鏈，這涉及全中國數千名企業與研究中心的工程師和科學家。這項努力遍及整個供應鏈。路透本月稍早曾報導，中國科學家正研發可生產先進晶片的設備原型，這正是華府多年來極力阻撓的目標。
一名前中國本土設備商員工表示，過去中國晶圓廠偏好使用美國設備，鮮少給國產廠商機會，但在2023年美國出口限制後，情況出現根本轉變，中國晶圓廠已別無選擇，只能與國產供應商合作。
根據公開採購資料，今年與政府關聯的實體共下了421份國產半導體製程設備（含光刻相關設備）及相關零組件訂單，總值約8.5億元人民幣，創下新高，顯示本土技術需求明顯升溫。
為支撐本土晶片供應鏈，北京還透過俗稱「大基金」的半導體投資機制向產業投入數千億元人民幣，並於2024年啟動第三期，資本規模達3440億元人民幣。
政策已開始產生實質效果，特別是在蝕刻（Etching）等關鍵製程。蝕刻是晶片製造中不可或缺的一步，用於從矽晶圓移除材料並雕刻電晶體結構。
中國最大晶片設備商北方華創（Naura Technology）正於中芯國際的先進7奈米產線測試其蝕刻設備。該公司先前已在14奈米產線成功部署相關設備，顯示國產供應商技術進展迅速。
一名知情人士指出：「政府要求晶圓廠至少使用50%國產設備，加速了北方華創蝕刻成果的成熟，迫使公司快速提升技術能力。」
過去，中國的先進蝕刻設備主要由美國半導體設備大廠應用材料（Applied Materials）旗下的Lam Research，以及日本設備商東京威力科創（Tokyo Electron）供應，如今部分已被北方華創及其規模較小的競爭對手中微公司（AMEC）取代。
北方華創也成為中國記憶體晶片製造商的重要合作夥伴，為300層以上的先進晶片供應蝕刻設備。消息人士指出，該公司還開發靜電吸盤，用以替換Lam Research設備中因2023年出口限制而無法維修的關鍵零組件。
中國的進展已引發全球競爭對手的憂慮，因為外國供應商正逐步被擠出中國市場。
根據知識產權管理公司Anaqua的AcclaimIP資料庫並經路透查證，北方華創在2025年申請了創紀錄的779件專利，為2020與2021年的兩倍以上；中微公司則申請259件。
這也反映在財務表現上。北方華創2025年上半年營收年增30%，達160億元人民幣；中微公司上半年營收年增44%，至50億元人民幣。
分析師估計，中國在光阻去除與清洗設備的自給率已接近50%。該市場過去由日本廠商主導，如今則由北方華創領軍。
另一名消息人士表示：「國產設備市場最終將由兩到三家大型製造商主導，而北方華創毫無疑問是其中之一。」
